掃描電鏡是兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當今掃描電鏡的前沿技術(shù)，大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率*，對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。自動化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款難得的場發(fā)射掃描電鏡。
掃描電鏡的樣品表面凹凸變化大的邊緣區(qū)域，二次電子散射區(qū)域與樣品表面接近的面積增大，結(jié)果使邊緣區(qū)域二次電子發(fā)射異常地增加。在圖像中這些區(qū)域特別亮，造成不自然地反差，稱為“邊緣效應(yīng)”。
這雖然并非由于操作引起地圖像缺陷，但可通過適當?shù)夭僮鞅M量減少。主要的方法是降低加速電壓，可使邊緣效應(yīng)相對減輕，由于斷口表面高低不平，邊緣區(qū)域由于二次電子發(fā)射異常增加導(dǎo)致樣品邊緣異常增亮，無法顯示出樣品細節(jié);邊緣效應(yīng)明顯減輕，但未能*消除。
荷電效應(yīng)、損傷、邊緣效應(yīng)為掃描電鏡圖像常見的圖像缺陷，這些缺陷一些是人為因素產(chǎn)生，一些則是由于掃描電鏡成像原理而不可避免產(chǎn)生，但我們都能通過一定的方法，如導(dǎo)電法、降低電壓法、快速觀測法等等而消除或減少圖像缺陷的產(chǎn)生。
實際操作中，對于不同的圖像缺陷，要靈活采用各種不同的方法，反復(fù)實驗，并總結(jié)、分析各種方法的優(yōu)劣，才能拍攝出更好、更真實的圖片。
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